一、仪器简介
DSTG-C2000光谱对射测厚仪是一款基于双光谱共焦位移传感技术的非接触式厚度测量设备，采用高精度对射式设计，适用于透明/半透明/不透明材料（如平板玻璃、光学镜片、晶圆、陶瓷、薄膜、金属、塑料等）的厚度测量。系统通过控制两个高精度光谱共焦位移传感器，消除材料折射率影响，实现亚微米级高精度测量。
二、仪器特点
1）非接触测量：避免传统接触式测厚仪对被测物表面的划伤或压痕风险
2）高精度：采用高精度光谱共焦位移传感器，测量精度±0.6um，重复精度85nm
3）超宽测量范围：支持0.1mm ~ 80mm厚度测量（可定制扩展）
4）高速测量：单点测量时间≤10ms，测量数据即时呈现
5）环境抗干扰：对环境光变化不敏感
6）方便快捷的数据校正功能，实现不同材质产品测量的快速切换
7）便捷的项目设定、保存及调用功能
8）可设定管控范围，测量结果实时判定及测量数据实时记录
9）实时统计功能，便于随时了解生产良率，进行品质管控
10）人性化治具设计，光学对中、取放样品快捷便利
11）自动生成数据报表
三、软件界面
四、仪器参数
型号 | DSTG-C2000 |
测量原理 | 双光谱共焦位移传感技术 |
测量范围 | 0.1mm ~ 80mm |
线性精度 | ±0.6um（单探头） |
重复精度 | 85nm |
工作距离 | 50mm |
光斑尺寸 | Φ20um |
测量角度 | ±14° |
测定方法 | 与标准物比较 |
测量时间 | ＜1s |
数据显示精度 | 0.1mm/0.01mm/0.001mm/0.0001mm |
数据采样间隔 | 100us/200us/500us/1ms/2ms/5ms/10ms |
测量对象 | 透明/半透明/不透明材料，平面/弧面 |
通讯接口 | USB、以太网 |
软件功能 | 实时数据、自动判定、统计功能、数据报表 |
工作环境 | 温度0~50℃，湿度20~85% RH（无冷凝） |
工作电源 | AC 220V±10%，50/60Hz |
外形尺寸 | 520mm(H)×320mm(W)×400mm(D) |
重量 | 约26kg（不含电脑） |
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